2025年6月,万业企业旗下凯世通向国内多家晶圆厂客户成功交付5台12英寸离子注入机,涵盖低能大束流与高能离子注入机两大关键核心机型,单月交付量再创新高,标志着凯世通国产离子注入机在先进工艺与多元化应用场景加速规模化应用。
离子注入机作为决定芯片电性能的关键核心装备,长期被海外企业技术垄断。凯世通凭借持续技术创新与工艺突破,已形成覆盖先进逻辑、DRAM、CIS、功率、传感器等多领域的全系列低能大束流与高能离子注入机产品矩阵,累计交付近50台12英寸离子注入机,助力超12家晶圆厂客户安全稳定量产与工艺创新,不断增强国内集成电路产业链、供应链自主可控能力。
展望未来,凯世通将继续聚焦关键装备“硬卡替”环节,深化离子注入机技术创新迭代,不断为客户提供更高效、更先进的离子注入设备与解决方案。
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